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製品情報 ［製品の概要］
>> 気体の粉体除去装置 ［製品の特徴］
トラパックの概要
エレメントタイプ
うずタイプ
コンビネーションタイプ
外観
＆
構造
トラパック
エレメント
○
―
○
うずエレメント
―
○
○
設置の場所
真空系・排気系
真空系・排気系
排気系
圧力損失
微小
ゼロ
微小
用途
対象プロセス
インプラ・エッチング
CVD・エッチング
CVD・エッチング
ガス
BF
3
, AsH
3
, PH
3
BCL
3
, CL
2
SiH
4
, NH
3
, NF
3
BCL
3
, CL
2
SiH
4
, NH
3
, NF
3
BCL
3
, CL
2
トラパックのエレメント
トラパックのエレメントは反応生成物（粉体）をエレメント繊維表面に吸着させる特殊な性質をもつ高機能性イオン交換繊維の特殊加工品です。成型体の“トラパックエレメント”と布状の“うずエレメント”があります。
トラパックエレメント
うずエレメント
トラパックエレメント
トラパックエレメントは形状と密度により種類が豊富です。うずエレメントもＮＥＷトラパックの機種と仕様により規格が異なります。詳しくはお問い合わせ下さい。
エレメントタイプ
機種とエレメント形式
規格
エレメント仕様
機種
エレメント形式
トラパックエレメント
TU-200
EL
高密度エレメント
中密度エレメント
低密度エレメント
標準仕様（排気取付）
真空仕様（真空取付）
TU-250
FL
TU-500
GL
TU-1000
TU-500W
HL
TU-1500
TU-2100
TU-3100
IL
TU-4100
KL
TU-5100
TU-6100
うずエレメント
TU-25LM
ASD-25LM
３ うず規格
４ うず規格
５ うず規格
６ うず規格
TU-50LM
ASD-50LM
TU-65LM
ASD-65LM
TU-85LM
ASD-85LM
TU-95LM
ASD-95LM
TU-105LM
ASD-105LM
TU-1500
ASD-1500
TU-2100
ASD-2100
TU-3100
ASD-3100
TU-4100
ASD-4100
TU-5100
ASD-5100
TU-6100
ASD-6100
吸着のメカニズムと実績
マグネットファイバー機能
プラスとマイナスのイオン交換繊維の表面に反応生成物（粉体）が吸着されます。やがて粉体は積層しながらマグネットファイバーを太らせます。
トラパックエレメント使用後
トラパックエレメントは反応生成物（粉体）をエレメント表面から深層部まで隈無く捕捉。自重の10倍以上の粉体を捕集します。
うずエレメント使用後
うずエレメントはうず構造物（うず加工板）の中に装着されております。排ガス中の反応生成物は中央に向かう、うず旋回流の中で衝突をくりかえし吸着捕集されます。
特徴
トラパックエレメント
微細反応生成物（微粉体）を除去
エレメントが低密度で、メッシュ空隙は大きい
粉体はエレメント表面と内部に積層していく
うずエレメント
うず構造体のため、粉体は長期間圧力損失を受けない
うず数やうずピッチの組合せによりほぼ粉体をシャットアウトする
粉体は装着されているうずエレメント表面に積層していく
