トラパック、オイルクリーナーの設計・製作・販売：大成技研株式会社 ｜お問合せ｜サイトマップ｜
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トラパック（粉体除去）：大成技研株式会社
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　取付実績
用途 LSI ドライエッチング装置
（BCL3）
LSI ドライエッチング装置		 セラミック 真空ベーク炉
（セラミック粉の混入）
セラミック 真空ベーク炉		 LSI イオン注入装置
（リン・ヒ素化合物の混入）
エレメント寿命 １年 １年 １年～１．５年
真空ポンプ寿命 ３か月→５年以上 半年→５年以上 ４か月→４年以上
コスト削減メリット １/10 １/５～１/10 １/10